檢測認證人脈交流通訊錄
- 膜的種類 混合氣組成 生成方法
" 半導體膜
絕緣膜
導體膜" " 硅烷（SiH4）+氫
二氯二氫硅（SiH2Cl2）+氫
氯硅烷（SiCl4）+氫
硅烷（SiH4）+甲烷（CH4）
硅烷（SiH4）+氧
硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）
硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）+乙硼烷（B2H6）
硅烷（SiH4）+氧化亞氮（N2O）+磷烷（PH3）
六氟化鎢（WF6）+氫
六氟化鉬（MoCl6）+氫" " CVD
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