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檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄

氯氣

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • GB/T 18994-2003
  • 用　　途：
  • 半導(dǎo)體生產(chǎn)中等離子刻蝕鋁和其它金屬層。氯化多種有機(jī)化學(xué)品。
    • Chlorine 氯氣(Cl2) Total Purity純度：>99.999% Vapor Phase Impurities 氣相雜質(zhì) Contaminants 雜質(zhì) Specifications (ppmv) 規(guī)格 CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <4.0ppmv CO Carbon Monoxide一氧化碳 <0.5ppmv CH4 Methane甲烷 <0.1ppmv N2 Nitrogen氮?dú)?<2.0ppmv O2 Oxygen氧氣 <1.0ppmv

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