檢測認證人脈交流通訊錄
- TH510系列半導體CV特性分析儀技術解析與應用
一、設備概述
TH510系列是專用于半導體器件?電容-電壓(C-V)特性測試?的高精度分析儀,具備多參數測量、高速掃描及多通道擴展能力,適用于功率器件、集成電路等半導體元件的研發與質量控制。
二、核心性能特點
?高效測試能力?
?雙CPU架構?:LCR測試速度達0.56ms/次(1800次/秒),支持快速導通測試(Cont)。
?多參數同測?:可同步測量并顯示寄生參數(Ciss、Coss、Crss、Rg)。
?靈活配置?
?通道擴展?:標配2通道,可擴展至6通道,支持雙芯片并行測試。
?測試模式?:點測、列表掃描(最多1001點)、圖形掃描(選件)。
?高精度與寬范圍?
?電壓范圍?:VGS(±40V)、VDS(200V/1500V/3000V可選)。
?頻率覆蓋?:1kHz-2MHz,分辨率達0.01%。
三、典型應用場景
?器件測試?:MOSFET、IGBT、二極管等寄生電容及C-V特性分析。
?材料研究?:晶圓、液晶材料的介電常數與彈性常數測量。
?工藝優化?:通過C-V曲線評估半導體摻雜濃度與界面態密度。
四、技術參數摘要
?項目? ?規格?
顯示系統 10.1英寸觸摸屏(1280×800),Linux操作系統
測量精度 0.1%(參考說明書),電容分辨率0.00001pF
接口配置 RS232/USB/LAN/HANDLER,支持分檔信號輸出
物理參數 尺寸430×177×405mm,重量16kg,功耗≥130VA
五、操作與擴展功能
?校準與分選?:支持開路/短路/負載校準,10檔分選(Bin)及PASS/FAIL指示。
?數據管理?:內部存儲100M,外接USB保存設定文件、圖形及記錄。
該設備以一體化設計(LCR+高壓源+通道切換)為核心,兼顧效率與精度,是半導體研發與生產的理想工具。
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