檢測認證人脈交流通訊錄
- 技術參數
射頻發生器（RF）
(1) 電路類型：電感反饋式自激振蕩電路，同軸電纜輸出，匹配調諧，取功率反饋，進行閉環自動控制。
(2) 工作頻率：40MHZ±0.05%
(3) 頻率穩定性：<0.1%
(4) 輸出功率：800－1200w
(5) 輸出功率穩定性：≤0.3%
(6) 電磁場泄漏射強度：距機身30cm
電場強度E：<2V/m
進樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內徑25mm，3匝
(2) 炬管：三同心Fassel型，外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑34mm
(5) 氬氣流計規格和載氣壓力表規格：
①、 等離子體流量計（100-1000）L/h
(1.6-16L/min)
②、 輔助氣流量計（10-100）L/h
Auxiliary gas flow meter（10-100）L/h
(0.16-1.66L/min)
③、 載氣流量計（10-100）L/h
(0.16-1.66L/min)
④、 載氣穩壓閥（0-0.4MPa）
測光裝置:
(1) 光電倍增管規格： R212UH或R928
(2) 光電倍增管負高壓：200-1000V
穩定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A
(4) 信號采集為V/F交換：1mV對應100Hz
分光器:
(1) 光路: Czerny- Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，
(4) 波長范圍：195-500nm
（可選用2400線/mm，波長范圍：195－800nm）
（刻線面積: 80X110mm）
線色散率倒數：0.26nm
(5) 分辨率: ≤1.008nm
(6) 掃描波長范圍3600線/mm 掃描波長范圍：195-500nm2400線/mm掃描波長范圍：195-800nm
(7) 步進電機驅動最小步距：0.0006nm
(8) 出射、入射狹縫：20µm
(9) 發射鏡規格：（78 X 105 X 16）mm
(10) 透鏡ф30，1：1成像
(11) 分光器恒溫裝置：32℃±1℃
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